第230章 鸡蛋清引发的良品率问题

3个月前 作者: 大辉有熊
    周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前,注视一块高纯度硅锭被送入切割台上。


    硅片厂生产线还没有投产,眼前的硅锭是从沪江运送过来,用于试生产的,


    随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下,硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆。


    这些晶圆将被送往下一个车间,进行打磨和抛光。


    接下来就是光刻工序,也是整个制造过程中最核心的环节。


    姜明尚皱眉道:“前几道工序都没问题,但光刻车间的良品率始终上不去。


    我研究了几天,始终没找到问题所在。”


    周博笑道:“万事开头难,gk-1是第一台光刻机,有问题很正常,没问题才奇怪。”


    两人一边说着,一边来到光刻车间。


    车间中央横置着一台庞然大物——gk-1干式光刻机,几名技术人员正围在操作台前。


    “怎么回事,又是图案粘连!”一名技术人员苦恼道。


    “会不会是光刻胶有问题?”


    “不应该,都是一样的调配流程,在沪江好用,到了粤州就出问题?


    没道理呀!”


    “是呀,真特么见鬼了!”


    “原来的流水线不是挺好吗,一做成整机就出问题,自找麻烦!”有人抱怨道。


    “整机在沪江测试过,也没问题呀!”


    “到底怎么回事呢?”


    众人议论纷纷,看到周博和姜明尚走过来,立刻向二人打招呼。


    “周总工,姜总工!”


    都是电子厂的老人,还是习惯用以前的称呼。


    姜明尚问道:“怎么样,这次良品率多少?”


    “10片芯片,只有1片能用,其他全部出现图案粘连现象!”


    10%!


    这良品率实在有点可怜。


    周博也皱起眉头。


    光刻机在沪江时测试过的,怎么到了粤州就水土不服?


    “给我看看!”


    一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。


    周博来到显微镜前,将芯片放在物境前固定好,看了起来。


    镜头中,本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。


    这就是所谓图案粘连。


    看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。


    暗暗在脑海中发出指令。


    “分析gk-1光刻机···”


    【叮!】


    【系统分析开始···】


    【光刻机型号:gk-1】


    【分析结果如下:】


    【1.光源系统正常。


    2.对准与调焦系统正常。


    3.双工件台系统正常


    4.掩模输运与定位系统正常···】


    系统分析完毕,光刻机一切正常。


    周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?


    系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了。


    “大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。


    姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题。


    但是又查不出来!”


    周博点点头。


    现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的。


    一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题。


    之所以用鸡蛋清,多少有点无奈,光刻胶这东西虽然不起眼,但技术含量可不低。


    要从零开始批量制造,也是相当麻烦,所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。


    想了想,周博一时也难以确定问题所在,只好道:“把流程重新走一遍吧!”


    “好!”


    随即,众人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序。


    光刻机内,汞灯光源射出紫外光,透过自制透镜组,再透过掩膜版,将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。


    在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案。


    周博出神地注视着光刻机,思维跟着工序流程快速思考。


    是振动问题?


    空气洁净度不够?


    热胀冷缩?


    脑海中不时蹦出一个个想法,但又随即否定···


    半个小时后,光刻工序完成,几块芯片新鲜出炉。


    随即拿到显微镜下一看,还是图案粘连!


    姜明尚苦笑:“真是活见鬼了!”


    此时,周博拿着一块芯片左右端详,眼神渐渐明亮起来。


    “姜工,我觉得你的猜测是对的,应该还是光刻胶的问题!”


    周博语气笃定地说道。


    “可是配置流程是完全相同呀!”


    “我知道,流程一样,但成分可能不一样。”


    “你是说蛋清成分不一样?”姜明尚脸色表情有些古怪。


    这也太扯了!


    周博点点头,笑道:“这粤州鸡和沪江鸡饮食不同,生活环境也不同,蛋清有差别很正常!”


    众人听完这一番解释,都有些哭笑不得。


    “那应该怎么办,从沪江运鸡蛋过来?”


    这事想想就有点搞笑!


    “不必,我有办法,去弄一下草酸盐来!”


    “草酸盐?做抗凝剂吗?”姜明尚诧异道。


    “没错,你反应真是快!”


    “行,马上去搞一些草酸盐!”


    事情总算有了头绪,众人兴奋不已。


    随即,派人却去粤州城内买到了草酸盐,然后重新用筛网过滤蛋清,剔除杂质,调配光刻胶。


    接着,重新涂刷新配光刻胶,然后再次进行光刻工序。


    这一批芯片完成时,时间已经是深夜。


    但一群人没有一点困倦的表情,个个精神抖擞。


    芯片下线后,姜明尚抢过一片就来到显微镜前。


    显微镜下,一条条电路线竟清晰如刀刻。


    姜明尚激动不已,“这片好的,换一片!”


    “这片也合格!”


    “这片有问题,再换一片!”


    “合格!”


    “合格···”


    这一批次芯片,良品率达到了70%。


    众人顿时欢呼起来,几个技术员兴奋地把周博抱起,抛向空中。


    “行了,行了,放我下来吧!”


    被众人放下后,周博也非常兴奋。


    芯片制造是高精密,高度复杂的过程,即便在后世,很多国际大厂也经常被良品率的问题困扰。


    这次能顺利解决,也给了周博很大信心。


    “到底是什么原因呀?”众人好奇地问道。


    周博笑了笑,“因为鸡蛋清成分的细微差别,以及气温、湿度等差异,蛋清中的蛋白质分子在显影时形成胶体团,堵塞电路间隙。


    加入抗凝剂后,胶体团无法凝结,自然就解决了!”
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